到元代又用作省以下的监察区，明清沿袭元制，也在省与府之间设道，但幅员也大为减缩。民国初年改道为省县之间的一级政区，20世纪20年代废道以后，道就消亡了。

路的演变也相近似，只是沿用时间短。北宋的路只有20多个，作为高层政区，其幅员大约相当今天的半省一省之地。到元代降而为统县政区，幅员也缩小到今天一两个地区大小，明代废路为府，路也消亡了。

省的幅员从元代到民国逐步减少，20年代以后降为统县政区。至今名义上还是统县政区，虽然在省县之间还有地区和管县的市这一虚级。